一.仪器型号
VEGA 3SBU
二.仪器生产厂家
捷克TESCAN公司
三.仪器主要配置
1、二次电子
2、背散射
3、能谱仪（BRUKER 410-M）
4、离子溅射仪（靶材Au）
四.主要技术指标
在20-20000倍范围实现二次电子、背散射电子成像，进行元素半定量分析。
五.测试项目
微观形貌，元素定性，元素定量，元素分布。
六.送样要求
1.不能检测液体试样或具有挥发性的试样；
2.样品不能带磁性；
3.送样前，所有试样应进行干燥，除尘；
4.试样可为粉末、薄膜、线状物、块体。尺寸长宽高均应小于10mm。
七.应用范围
电镜系统主要用于观察和拍摄样品的表面形貌，包括二次电子成像和背散射电子成像。能谱
系统主要用于分析材料表面的成分，可对特定的点、线、面进行定性和定量分析，理论上可
测量样品中4Be~92U之间的元素，但更适用于元素周期表中等原子序数的元素；还能对材料
表面特定元素的分布情况进行面扫描拍照分析。